掩膜版：電子制造之底片，晶圓光刻之藍(lán)本。 掩膜版是微電子制造過(guò)程中的圖形轉(zhuǎn)移母版，按照制造材料可以分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他（菲林、凸版、干版），按照下游應(yīng)用領(lǐng)域可以主要分為平板顯示掩膜版、半導(dǎo)體掩膜版、觸控掩膜版、電路板掩膜版。掩模版對(duì)于光刻工藝的重要性不弱于光刻機(jī)、光刻膠。在集成電路領(lǐng)域，光掩模的功能類似于傳統(tǒng)相機(jī)的“底片”，在光刻機(jī)、光刻膠的配合下，將光掩模上已設(shè)計(jì)好的圖案，通過(guò)曝光和顯影等工序轉(zhuǎn)移到襯底的光刻膠上，進(jìn)行圖像復(fù)制，從而實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。...
2024-07-10 10:29:20
