晶圓其實不是絕對“圓”的!即使拋開加工精度,晶圓也不是圓的! “111”P-type晶圓 就像上圖“111”P-type晶圓一樣,我們通常看到的晶圓,是有一個切口的。這個切口或是平切掉一塊,或是一個小小的缺口。為什么呢? 有個小缺口的晶圓 在硅晶圓片的制造和加工中,通常會在圓形表面上切割或研磨一個小的平面區(qū)域,這個區(qū)域被稱為flat zones(“切平區(qū)”或“研磨平面”)。切平區(qū)通常位于晶圓周邊的某個特定位置,這個位置的準確定義取決于晶圓的規(guī)格和設(shè)...
2024-06-28 18:30:57