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機(jī)器視覺檢測(cè)的非接觸性、連續(xù)性、經(jīng)濟(jì)性和靈活性等優(yōu)點(diǎn)使人們有了更好的選擇。人工檢測(cè)正逐漸被機(jī)器視覺檢測(cè)所取代。機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測(cè),主要是通過模式匹配定位實(shí)時(shí)捕獲的圖像,對(duì)圖像進(jìn)行分析處理,獲得圖像的各種參數(shù),并與預(yù)設(shè)的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較,判斷圖像是否合格。
與人工檢測(cè)相比,機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體外觀檢測(cè)具有以下優(yōu)點(diǎn)。
1.非接觸
機(jī)器視覺檢測(cè)作為一種的檢測(cè)設(shè)備,通過對(duì)物體圖像的分析和處理來測(cè)量物體。測(cè)量過程中不需要接觸,所以對(duì)被測(cè)物體沒有磨損和危險(xiǎn),實(shí)現(xiàn)了無損檢測(cè)。
2.連續(xù)性
機(jī)器巡檢系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)很明顯,因?yàn)槿耸怯懈星榈?,?huì)努力,把人當(dāng)機(jī)器是不靠譜的。與人眼相比,機(jī)器不僅不會(huì)疲勞,還具有人所不具備的一致性和可重復(fù)性,可以長(zhǎng)時(shí)間不間斷運(yùn)行。此外,由于沒有人類操作員,沒有人為的操作變化,可以設(shè)置多個(gè)系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行。
3.準(zhǔn)確
近年來,由于芯片封裝小型化,生產(chǎn)越來越復(fù)雜,但生產(chǎn)率越來越高,加上各種新型元器件的大量使用,僅靠人眼已經(jīng)無法保證半導(dǎo)體芯片封裝和流水線的質(zhì)量和效率。長(zhǎng)期以來,檢測(cè)的速度和精度是制約芯片生產(chǎn)率和質(zhì)量進(jìn)一步提高的瓶頸。如何以與封裝生產(chǎn)相匹配的速度實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè),一直是半導(dǎo)體廠商最關(guān)心的問題。檢測(cè)的速度和精度是機(jī)器視覺檢測(cè)的明顯優(yōu)勢(shì),日新月異的機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng)正在取代人進(jìn)行自動(dòng)化的產(chǎn)品檢測(cè)。
4.經(jīng)濟(jì)
隨著視覺檢測(cè)技術(shù)的逐漸成熟和加工硬件價(jià)格的降低,機(jī)器視覺檢測(cè)的經(jīng)濟(jì)性逐漸顯現(xiàn)。機(jī)器視覺檢測(cè)系統(tǒng)可以取代許多人工檢測(cè)人員。此外,機(jī)器視覺檢測(cè)的一般運(yùn)維成本相對(duì)較低。
5.可量測(cè)性
機(jī)器視覺系統(tǒng)可以進(jìn)行各種測(cè)量。機(jī)器視覺系統(tǒng)比光學(xué)和機(jī)器傳感器具有更好的適應(yīng)性、多樣性、靈活性和可重構(gòu)性。當(dāng)檢測(cè)過程需要改變時(shí),機(jī)器視覺系統(tǒng)的“換刀”只是更新軟件,而不是升級(jí)昂貴的硬件。生產(chǎn)線重組時(shí),機(jī)器視覺系統(tǒng)往往可以保留下來,繼續(xù)使用。
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