曝光機(jī)即電子串曝光機(jī)，是集電子光學(xué)、機(jī)械、真空、電氣、計(jì)算機(jī)技術(shù)等于一體的復(fù)雜的半導(dǎo)體加工設(shè)備。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域。專(zhuān)門(mén)用于FILM黃光制程而設(shè)計(jì)制作的設(shè)備，系統(tǒng)采用進(jìn)口平行光源、雙工位抽屜進(jìn)出曝光平臺(tái)交替工作進(jìn)行FILM濕膜、干膜曝光。