何謂XXY故名思義就是有兩個(gè)X方向的軸向，搭配一個(gè)Y方向軸向，剩余一軸采自由軸，所以也有人稱(chēng)XYY或是日本常用的名稱(chēng)UVW，它的出現(xiàn)用來(lái)取代某些傳統(tǒng)XYθ的應(yīng)用，但不管名稱(chēng)為何，三軸對(duì)位是近年來(lái)發(fā)展高精密對(duì)位的趨勢(shì)。