曝光機是20世紀60年初掃描電子顯微鏡基礎發(fā)展而來的一種新光刻技術,在70年代后廣泛應用于半導體電路板生產(chǎn)制造。曝光機即電子串曝光機,是集電子光學、機械、真空、電氣、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備。廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域。
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